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多晶硅和石英玻璃联合制备法的优点

多晶硅和石英玻璃的联合制备法的热能是被充分利用的,其生产过程没有反复升降温的现象,因此可以节能,而且节能的数字是相当可观的。 采用传统的单项生产法生产多晶硅,还原料从鼓泡器里出来后被送进还原炉。在炉内还原料被加热到1150~1250℃,发生了氢还原反应,生成多晶硅。采用这种生产法,进入还原炉的还原料只有少数(一般认为10%~20%)参加...